石墨槽舟清洗及使用維護槽舟的清洗

石墨槽舟清洗及使用維護槽舟的清洗:

1：新槽舟在第一次使用前建議使用去離子水+10%(體積比)的氫氟酸進行清洗約3~5小時；再用去離子水進行漂洗8~12小時；直到確認槽舟體沒有酸性成分，可在漂洗后用PH試紙測試用過的水或洗過的槽舟，以確認清洗結(jié)果。然后按照要求進行烘干

2：使用后石墨槽舟的清洗：SHF的石墨槽舟一般在使用100-150次左右需要對其表面的氮化硅進行清洗。

建議使用濃度15-25%的氫氟酸溶液，分三輪次來清洗，每次4-5小時，并在浸泡清洗的過程中進行周期性氮氣鼓泡，加半小時左右的清洗：；

注意：鼓泡不建議直接使用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時左右，并確認槽舟已經(jīng)徹底清洗干凈，請在清洗結(jié)束后檢查槽舟的表面、石墨卡點和槽舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的殘余。然后按照要求進行烘干。