有一種解決PERC電池EL下舟印的方法

1.、一種解決PERC電池EL下石墨舟印的方法，其特征在于，在石墨石墨舟長時(shí)間待機(jī)時(shí)運(yùn)行烘石墨舟工藝，該方法包括以下步驟：
步驟(1)進(jìn)石墨舟:溫度500-550℃,壓力10000mTor;

步驟(②)升溫:時(shí)間700-800S,溫度500--550℃,壓力10000mTor;

步驟(3)第一次抽真空：時(shí)間100-200S，溫度500-550℃，壓力0mTor;

步驟(4）測漏:時(shí)間10-50S,溫度500-550℃,壓力10000 mTor;

步驟(5)第二次抽真空：時(shí)間10-100S，溫度500-550℃，壓力0mTor；

步驟(6)預(yù)處理：時(shí)間10-100S，溫度500-550℃，硅烷1000-2000sccm，氨氣5000-8000sccm,壓力1000-2000mTor;

步驟(⑦）淀積：時(shí)間500-1000S，溫度500-550℃，硅烷1000-2000sccm，氨氣50008000sccm,壓力1000-2000mTor,功率8000-15000W,脈沖開30-80mS,脈沖關(guān)500一1000mS;

步驟(⑧)第三次抽真空：時(shí)間10-100S，溫度400-500℃，壓力0mTor;

步驟(9)第一次吹掃：時(shí)間10-100S，溫度400-500℃，氮?dú)?0000-20000sccm，壓力10000mTor;

步驟(10)第四次抽真空：時(shí)間10-100S，溫度400-500℃，壓力0 mTor；步驟(11)第二次吹掃：時(shí)間10-100S，溫度400-500℃，氮?dú)?0000-20000sccm，壓力10000mTor;

步驟(12)出石墨舟:溫度500-550℃,壓力10000 mTor。