避免PECVD工序中石墨舟印的處理工藝

本發(fā)明涉及硅太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種避免PECVD工序中石墨舟印的處理工藝，包括以下步驟：將存放時間超過4小時的石墨舟搬運至管式PECVD機臺，對石墨舟進行洗舟工藝加載，

洗舟工藝步驟為：開始、進舟、抽真空、吹掃、抽真空、檢漏、抽真空、恒溫、恒壓、淀積一、抽真空、吹掃、淀積二、抽真空、吹掃、抽真空、充氮、取舟、結(jié)束，將運行過洗舟工藝后的石墨舟從爐管中取出后，按正常工藝本實用新型公開了一種便于標(biāo)記的石墨舟卡點及石墨舟，

便于標(biāo)記的石墨舟卡點包括安裝部以及卡點單元；每個所述卡點單元依次包括承載部和表面部；沿著每個所述卡點單元的表面部均設(shè)置有線形縫隙鏤空，且垂直于所述表面部的徑向方向有參考線；所述線形縫隙鏤空與所述參考線之間存在夾角。上述石墨舟，

是包含了上述適用于石墨舟的卡點的載體裝置。本實用新型提供的便于標(biāo)記的石墨舟卡點及石墨舟，