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教你石墨舟的預(yù)熱及預(yù)處理方法

作者:jcadmin 發(fā)布時間:2019-07-04 10:52:13

隨著石墨舟的不斷使用,很多人不知道該怎么使用石墨舟,特別是在預(yù)熱和預(yù)處理時該怎么做,所以小編收集了一些知識要點供大家參考的:

石墨舟的預(yù)熱

1.烘干后的石墨舟由生產(chǎn)、工藝、設(shè)備檢查無損壞后,一起將石墨舟進(jìn)行預(yù)熱。
2.預(yù)熱時石墨舟內(nèi)不放硅片,將需要預(yù)熱的舟放入空閑的爐管,此爐管不進(jìn)行工藝,只要手動把真空泵的閥門打開就行了。

石墨圓舟

石墨舟的預(yù)處理(鍍舟)

將空的石墨舟由生產(chǎn)、工藝、設(shè)備確認(rèn)無異常之后,把石墨舟放進(jìn)爐管開始進(jìn)行預(yù)處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的生產(chǎn)工藝都一樣,但到“淀積”那一步時將工藝保持一個小時,然后再進(jìn)行下面的步驟,等到工藝結(jié)束,石墨舟從爐管內(nèi)出來之后,經(jīng)工藝人員確認(rèn)之后,這個石墨舟就可以正常使用了。